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J-GLOBAL ID:200903042014885080

感光性ペースト組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 洋子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996342480
Publication number (International publication number):1998171107
Application date: Dec. 06, 1996
Publication date: Jun. 26, 1998
Summary:
【要約】【課題】 水またはアルカリ水溶液で現像可能で、しかも長期保存安定性に優れる感光性ペースト組成物を提供する。【解決手段】 (1)水またはアルカリ水溶液に可溶な高分子バインダー、(2)光重合性モノマー、(3)光重合開始剤、(4)無機粉末、および(5)有機溶剤成分として3-メチル-3-メトキシブタノールを含有してなる、感光性ペースト組成物。
Claim (excerpt):
(1)水またはアルカリ水溶液に可溶な高分子バインダー、(2)光重合性モノマー、(3)光重合開始剤、(4)無機粉末、および(5)有機溶剤として3-メチル-3-メトキシブタノールを含有してなる、感光性ペースト組成物。
IPC (2):
G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (2):
G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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