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J-GLOBAL ID：200903042079563064
位置及び変位測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 茂信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991159293
Publication number (International publication number)：1993010717
Application date： Jul. 01, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】検査光の光軸方向と直交する方向に移動する被測定物の変位量を正確に測定する装置を提供する。【構成】検査光を発生する光源2と、ハーフミラー3と、検査光を平行光線にして被測定物に照射する投受光兼用レンズ4と、反射光を受けその結像位置に応じた電気信号を出力するPSD5と、PSD5の出力信号を基にして被測定物の位置を検出する信号処理部6とで構成される。
Claim (excerpt)：
被測定物に照射する検査光を発生する光源と、この光源の光照射方向に対向して設置されるハーフミラーと、このハーフミラーを通過した検査光を、一定の広がりを有する光ビームにして被測定物の移動方向と直交する方向に照射し、被測定物からの反射光を受ける投受光兼用レンズと、前記ハーフミラーによって反射された被測定物からの反射光を受け、その反射光の結像位置に応じた電気信号を出力する受光素子と、この受光素子の出力信号を基にして被測定物の位置を検出する信号処理部とを備えることを特徴とする位置及び変位測定装置。
IPC (3)：
G01B 11/00
, G01B 21/00
, G01C 3/06
