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J-GLOBAL ID：200903042083767987

波長可変デバイス

Inventor：
吉田 恵

About 吉田 恵


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 尾身 祐助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002191667
Publication number (International publication number)：2003101138
Application date： Jul. 01, 2002
Publication date： Apr. 04, 2003
Summary：
【要約】【課題】 小型、安価で、しかも広帯域において透過スペクトルの透過率が高く、且つ、そのバンド幅が狭い良好なフィルタ特性を示す波長可変フィルタを提供する。【解決手段】 基板上に1次元フォトニック結晶からなる平行に対向する一対のミラーで構成された共振器と、静電駆動型マイクロアクチュエータが備えられている。マイクロアクチュエータは、共振器を構成する可動ミラーと一体となった可動電極、可動電極を支持するバネおよび固定電極を有している。バネの固定端、固定電極および固定ミラーは基板に固定されている。可動電極、バネのうち固定端以外の部分および可動ミラーは基板から分離されて宙に浮いている。可動電極と固定電極間に電圧を印加すると、可動電極と固定電極間に静電力が発生し可動電極が並進移動する。それにより、共振器の共振器長が変化し、波長多重された複数の信号光から所望の波長光が選択的に共鳴透過する。
Claim (excerpt)：
対をなして平行に対向配置されたミラーよりなる共振器と、前記対をなすミラーの間隙を変化させて共振器長を変える間隔可変機構と、を有する波長可変デバイスにおいて、前記対をなすミラーの少なくとも一方と前記間隔可変機構とがともに基板上に一体的に形成され、かつ、そのミラーのミラー面が前記基板の基板面に対して垂直に形成されていることを特徴とする波長可変デバイス。
IPC (3)：
H01S 5/14 ,  G02B 1/00 ,  G02B 5/08
FI (3)：
H01S 5/14 ,  G02B 1/00 ,  G02B 5/08 A
F-Term (9)：
2H042AA30 ,  2H042DB02 ,  2H042DD01 ,  2H042DE07 ,  5F073AA65 ,  5F073AA67 ,  5F073AB25 ,  5F073AB29 ,  5F073BA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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