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J-GLOBAL ID:200903042083875461
結晶製造装置及び方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
丸島 儀一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996240444
Publication number (International publication number):1998087391
Application date: Sep. 11, 1996
Publication date: Apr. 07, 1998
Summary:
【要約】【課題】 円筒形の坩堝中で熔融させた結晶性物質の原料を冷却することで結晶化させる結晶製造装置において、坩堝溶液内の半径方向の温度差を減らすことで均一な結晶を得る。【解決手段】 円筒形の坩堝中で熔融させた結晶性物質の原料を冷却することで結晶化させる結晶製造装置において、前記坩堝は、前記原料を収容する領域の上下に設けられた仕切り板と、円筒側面に設けられた断熱手段とを有する。
Claim (excerpt):
円筒形の坩堝中で熔融させた結晶性物質の原料を冷却することで結晶化させる結晶製造装置において、前記坩堝は、前記原料を収容する領域の上下に設けられた仕切り板と、円筒側面に設けられた断熱手段とを有することを特徴とする結晶製造装置。
IPC (2):
FI (2):
C30B 11/00 C
, H01L 21/208 Z
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