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J-GLOBAL ID：200903042098805354

CCDカメラによる正反射式表面性状測定方法及びその装置

Inventor： 柴田 和久 ,  石垣 博行
Applicant, Patent owner： アークハリマ株式会社
Agent (1)： 手島 孝美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005256408
Publication number (International publication number)：2006003372
Application date： Sep. 05, 2005
Publication date： Jan. 05, 2006
Summary：

【課題】 正反射を起こす面を有する粗面物体の機能的表面性状を定量的に、かつ簡易に測定する。 【解決手段】 粗面物体の表面性状を測定する方法において、主として正反射を起こす面を有する粗面物体の表面に基準パターンを投影して該基準パターンの反射像のゆらぎを結像し、該反射像のゆらぎをCCDカメラで撮影し、該CCDカメラの映像信号を画像処理することにより前記反射像のゆらぎの輝度分布および該反射像のゆらぎの大きさを算出し、その値から粗面物体の表面性状を求める。反射像のゆらぎの大きさとして、輝度の振幅の標準偏差を用いることができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

粗面物体の表面性状を測定する方法において、主として正反射を起こす面を有する粗面物体の表面に基準パターンを投影して該基準パターンの反射像のゆらぎを結像し、該反射像のゆらぎをCCDカメラで撮影し、該CCDカメラの映像信号を画像処理することにより前記反射像のゆらぎの輝度分布および該反射像のゆらぎの大きさを算出し、その値から粗面物体の表面性状を求めることを特徴とする粗面物体の表面性状測定方法。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

FI (2)：

G01N21/88 Z ,  G01B11/30 102Z

F-Term (25)：

2F065AA50 ,  2F065BB01 ,  2F065BB26 ,  2F065CC06 ,  2F065FF41 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA37 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AB10 ,  2G051AB20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB10 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開昭61-75236号公報