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J-GLOBAL ID：200903042102011155

流量制御機構

Inventor： 本郷 明久 ,  大澤 將 ,  城野 義紀 ,  檜山 浩国 ,  望月 宣宏 ,  信田 昌男
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (5)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏 ,  廣澤 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005099398
Publication number (International publication number)：2006275023
Application date： Mar. 30, 2005
Publication date： Oct. 12, 2006
Summary：

【課題】 流路の幅がある程度大きい場合であっても、流体を速やかに混合できるような好ましい流量に調整することができる流量制御機構を提供する。【解決手段】 本発明に係る流量制御機構は、2つの流体がそれぞれ流れる2つの流路10A,10Bと、2つの流体にそれぞれ接触する2つのダイアフラム15A,15Bと、2つのダイアフラム15A,15Bを往復移動させる1つまたは2つのダイアフラム駆動(16Cまたは16A,16B)とを備える。上記2つのダイアフラム15A,15Bは同調して往復移動するように構成される。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

2つの流体の流量を制御する流量制御機構であって、 前記2つの流体がそれぞれ流れる2つの流路と、 前記2つの流体にそれぞれ接触する2つのダイアフラムと、 前記2つのダイアフラムを往復移動させる1つまたは2つのダイアフラム駆動部とを備え、 前記2つのダイアフラムは同調して往復移動することを特徴とする流量制御機構。

IPC (4)：

F04B 43/02 ,  B01J 19/00 ,  B81B 3/00 ,  F04B 43/04

FI (6)：

F04B43/02 H ,  F04B43/02 L ,  B01J19/00 J ,  B01J19/00 321 ,  B81B3/00 ,  F04B43/04 B

F-Term (17)：

3H077AA08 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077CC17 ,  3H077DD06 ,  3H077EE16 ,  3H077FF13 ,  4G075AA14 ,  4G075AA39 ,  4G075AA61 ,  4G075BD05 ,  4G075BD16 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB21 ,  4G075EC25 ,  4G075ED20