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J-GLOBAL ID：200903042107459669

電子放出素子及びそれを用いた画像形成装置

Inventor： 山野辺 正人 ,  塚本 健夫 ,  河手 信一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 敬介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999090628
Publication number (International publication number)：2000285792
Application date： Mar. 31, 1999
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】 雰囲気を超高真空にしなくとも酸化反応を抑止することができ、電子放出を長期に経時劣化を抑えて安定に得ることができ、そしてそれを用いた画像形成装置について、輝度のばらつき,劣化を抑えて画像表示を安定に行える電子放出素子及びそれを用いた画像形成装置を提供する。【解決手段】 基板4上にベース電極3を設けて、そのベース電極3上にエミッタ部8を設ける。エミッタ部8は尖った先端を持つ形状に形成し、これを囲んで絶縁層5を設けて、絶縁層5の上にはゲート電極6を配設する。エミッタ部8の先端が電子放出体1となる。この電子放出体1を含むエミッタ部8とゲート電極6とに、シリコン酸化物(や弗化カルシウム等)の被覆部材2を成膜させて、所定の厚み(1〜10nm)に被覆する。ゲート電極6,ベース電極3間に電源7を接続し、エミッタ部8の先端に電界を集中させて電子放出を起こさせる。

Claim (excerpt)：

冷陰極の電子放出部から電子を放出する電子放出素子において、前記電子放出部を絶縁性の被覆部材により被覆し、その膜厚を電子がトンネリングし得る膜厚としたことを特徴とする電子放出素子。

IPC (4)：

H01J 1/304 ,  H01J 1/316 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (4)：

H01J 1/30 F ,  H01J 1/30 E ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C

F-Term (10)：

5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH06