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J-GLOBAL ID：200903042111248664

光配向装置

Inventor： 加藤 英明 ,  磯村 英二 ,  斎藤 好正 ,  吉澤 伸
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 大澤 斌 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001158926
Publication number (International publication number)：2002350858
Application date： May. 28, 2001
Publication date： Dec. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】 大きな基板の照射露光を可能にすると共に、分割配向においても所定の画素領域で照射露光を行うことを目的とする。【解決手段】 照射ヘッドを多連化、多段化して配置し、多連化、多段化した照射ヘッドの下を基板が通過することで照射露光を行い、分割配向の際には、所定の画素領域が照射露光されるように基板を所定の距離移動する機構を備えた光配向装置を提供する。

Claim (excerpt)：

基板の配向を行うための光配向装置であって、光束を絞り照度を上げた多連化した照射ヘッドと、基板を搭載し、移動可能な基板ステージとを備え、前記多連化した照射ヘッドから前記基板へ向けて照射し、各々の照射ヘッドの出力を調整し、照度の均一性を確保した後に、前記基板を搭載した前記基板ステージを移動して前記基板の配向を行うことを特徴とする光配向装置。

F-Term (8)：

2H090HB08Y ,  2H090HC13 ,  2H090HC17 ,  2H090HC18 ,  2H090HC20 ,  2H090HD14 ,  2H090MA13 ,  2H090MB12