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J-GLOBAL ID：200903042114382604

マイクロポンプにおける検出装置

Inventor： 天野 和彦
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992049893
Publication number (International publication number)：1993248356
Application date： Mar. 06, 1992
Publication date： Sep. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 マイクロポンプにより微少の流量制御を行う為の検出装置を提供する。【構成】 検出装置100は薄膜板2に出口バルブ5を設けた隔壁板52の上に導電性を高めた突起53を形成し、突起53と対向する表面板3の裏面電極板300を接合することにより形成された電気回路開閉機構101を有している。出口バルブ5の挙動は隔壁52の弾性変位として現れ、導電性を高めた突起53が表面板3の裏面電極板300と接するので、その振動波形を突起53と表面板3の裏面電極板300の間に印加した電気信号の振幅の変化として検出し間接的に出口バルブ5の挙動を検知する。【効果】 マイクロポンプに於て、出口バルブ部の振動波形を電気回路開閉機構を用いて安定に、検出するように構成したので、その振動波形からポンプの動作が正常か否かを的確に判断できる。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板上に接合された薄基板と、該薄基板に形成されたダイヤフラム部及び少なくとも2箇所のバルブ部と、前記ダイヤフラム部の駆動手段とを備え、前記基板の入口ポートから流体を吸入し、前記基板の出口ポートに吐出するように微量の流量制御を行うマイクロポンプにおいて、前記バルブ部が出口バルブを設けた隔壁の挙動を、不純物拡散により導電性を高めた前記隔壁上の突起と、該突起と対向する表面板の裏面に接合した電極板により形成された電気回路開閉機構であることを特徴とするマイクロポンプにおける検出装置。