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J-GLOBAL ID：200903042127986258

複合薄膜センサ

Inventor： 藤田 勝久 ,  村川 慎一 ,  中井 正義 ,  江頭 良夫 ,  石山 一郎 ,  嘉藤 雅記 ,  西田 達也
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社 ,  北陸電気工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992270620
Publication number (International publication number)：1994160131
Application date： Oct. 08, 1992
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】基板上で気流センサおよび輻射センサの気温に対する補正を行ない、かつ気温、湿度、気流、輻射をローパワで検出できるようにする。【構成】絶縁膜2が形成された基板1上には気温センサ3、気流検知部4aと気流気温補正部4bからなる気流センサ4、輻射検知部5aと輻射気温補正部5bからなる輻射センサ5および湿度センサ6が形成されている。気流検知部4a、気流気温補正部4b、輻射検知部5aおよび輻射気温補正部5bの下部に対応する基板1の各部分は全て除去され、空所が形成されている。気流気温補正部4bは、風防7で覆われている。

Claim (excerpt)：

気温センサと、輻射を検知するための輻射検知部を持つ輻射センサと、電極板間に感湿材を配置して形成した静電容量型湿度センサと、気流を検知するための気流検知部と気流の気温による変化を補正するための、気流気温補正部を持つ気流センサとを、絶縁膜が成膜された基板上に薄膜形成によって一体形成した複合薄膜センサにおいて、前記輻射センサの一部を成し、輻射の気温による変化を補正するための前記基板上に前記絶縁膜を介して形成された輻射気温補正部と、前記輻射検知部、前記輻射気温補正部、前記気流検知部および前記気流気温補正部に対応する前記基板の各該当部分をそれぞれ除去することにより形成された空隙部と、前記気流気温補正部を覆う風防部材と、を具備することを特徴とする複合薄膜センサ。

IPC (2)：

G01D 21/02 ,  G01D 3/04