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J-GLOBAL ID:200903042146675891

半導体デバイス検査システム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991290168
Publication number (International publication number):1993129401
Application date: Nov. 06, 1991
Publication date: May. 25, 1993
Summary:
【要約】【目的】 装置構成の簡素化。【構成】 この半導体デバイス検査システムは、レンズユニット112a,カメラヘッド112bからなるカメラ装置112及びカメラコントロールユニット132と、CPU131及びキーボード133a,マウス133bと、モニタ114(モニタ装置)とを備えている。また、暗箱121内の測定対象である半導体デバイス101を3次元方向に動かすXYZステージ部123と、照明装置122と、レンズユニット112a,XYZステージ部123,照明装置122を制御するドライバユニット115とがさらに設けられている。
Claim (excerpt):
半導体デバイスの照明下のパターン像を撮像し第1の電気信号に変換して出力する第1のモードと、前記半導体デバイスに所定のバイアスを与えて得られる発光像を撮像して電気信号に変換して出力する第2のモードとを有する撮像装置と、この撮像装置からの前記第1の電気信号及び前記第2の電気信号を記憶するとともに前記第1または第2の電気信号に所定の演算を施して記憶する演算装置と、前記演算装置の記憶内容から前記パターン像または発光像或いは前記第1または第2の電気信号に前記所定の演算を施した像を表示するモニタ装置とを備えたことを特徴とする半導体デバイス検査システム。
IPC (4):
H01L 21/66 ,  G12B 5/00 ,  H01L 27/14 ,  H04N 7/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平1-072540
  • 特開平2-031175
  • 特開平3-025578

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