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J-GLOBAL ID：200903042147154780

液滴吐出装置およびデバイスの製造方法

Inventor： 橋本 貴志
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (3)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003085873
Publication number (International publication number)：2004290799
Application date： Mar. 26, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：

【課題】最適な吐出条件を決定し得る手法を提供するべく、液滴の着弾時の挙動等を容易に認識できるようにし、これにより最適な吐出条件の下でより精密で良好な微細パターンの機能性薄膜を形成できるようにした、液滴吐出装置およびデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】基板S上に機能性材料を含有する液状体を配する吐出ヘッド34と、基板Sと吐出ヘッド34とを相対的に移動させる移動手段とを備えた液滴吐出装置1である。吐出ヘッド34から吐出された液状体の液滴の、基板S上に着弾した際の挙動を連続的に撮影するカメラ3が備えられている。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板上に機能性材料を含有する液状体を配する吐出ヘッドと、前記基板と吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段とを備えた液滴吐出装置において、 前記吐出ヘッドから吐出された液状体の液滴の、前記基板上に着弾した際の挙動を連続的に撮影するカメラが備えられていることを特徴とする液滴吐出装置。

IPC (4)：

B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B05D1/26 ,  B41J2/01

FI (4)：

B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  B05D1/26 Z ,  B41J3/04 101Z

F-Term (34)：

2C056EA04 ,  2C056FB01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC91 ,  4D075AC93 ,  4D075CA47 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA06 ,  4D075EA07 ,  4D075EC35 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F041BA56 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042BA02 ,  4F042BA04 ,  4F042BA08 ,  4F042BA14 ,  4F042BA21 ,  4F042DH09