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J-GLOBAL ID：200903042154645039

ガラス板の洗浄乾燥装置

Inventor： 高野 純三 ,  土谷 雅夫 ,  若宮 清孝 ,  斉藤 永次
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 稲本 義雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991352069
Publication number (International publication number)：1993166232
Application date： Dec. 13, 1991
Publication date： Jul. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 小型で簡単な構造の装置により、ガラス板の洗浄乾燥を短時間で良好に行なう。【構成】 受け台13上にガラス板16を吸着把持し、受け台13を回転しながら純水を吐出して洗浄ブラシ27で洗浄する。次に純水と溶剤で仕上げ洗浄をした後、清浄空気を吹きつけ、受け台13を高速回転させて振切り乾燥する。

Claim (excerpt)：

ガラス板を載置して吸着把持する把持手段と、前記把持手段を回転駆動する駆動手段と、前記ガラス板の面にそれぞれ純水、清浄空気及び溶剤を吐出する吐出手段と、前記ガラス板の面に摺接して移動する摺接手段とを有することを特徴とするガラス板の洗浄乾燥装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特公昭45-010257
  
• 特開昭62-125632
  
• 特開昭59-019201
  
• 特開平2-061840