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J-GLOBAL ID：200903042168985266

真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法および装置

Inventor： フォルカー バウアー ,  ゲラルト レービッヒ ,  トーマス クルーク ,  アルベルト フォイアーシュタイン ,  ゲルト ホフマン
Applicant, Patent owner： ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993206201
Publication number (International publication number)：1994158319
Application date： Aug. 20, 1993
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 導電性の層においても、非導電性の層においても、巻取り時に折り目形成を生ぜしめるような表面電荷でシートを負荷することなく、冷却ローラに対するシートの静電圧着をもたらすような方法を提供する。【構成】 高出力被覆源の上方に位置する回転する冷却ローラ14に載着されたシート区分12に被覆材料を凝縮させ、しかも被覆前にシート12に電荷キャリヤを供給して、シート12の電荷状態を変化させて、真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法において、シート12が冷却ローラ14に載着されている間に、被覆前でシート12を3〜10kVの電圧を有する熱電子エミッタ23による電子衝撃にさらす。

Claim (excerpt)：

高出力被覆源の上方に位置する回転する冷却ローラに載着されたシート区分に被覆材料を凝縮させ、しかも被覆前にシートに電荷キャリヤを供給し、これによってシートの電荷状態を変化させて、真空中で高出力被覆源によって非導電性のシートを連続的に被覆する方法において、シートが冷却ローラに載着されている間に、被覆前でシートを3〜10kVの電圧を有する熱電子エミッタによる電子衝撃にさらすことを特徴とする、真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法。

IPC (2)：

C23C 14/56 ,  C23C 14/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭62-040373
  
• 特開平2-247383
  
• 特開平3-097860
  
• 特開平3-079763