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J-GLOBAL ID：200903042172604897

プラズマ処理装置

Inventor： 佐伯 登 ,  後藤 公爾
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  パール工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 孝一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998074197
Publication number (International publication number)：1999269286
Application date： Mar. 23, 1998
Publication date： Oct. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】 装置全体の小型化、多種多様な被処理物に対する適用性の拡充及び生産プロセスのインラインへの組込みの容易性だけでなく、電極部構成を簡単にして製作コストの大幅な低減が図れ、かつ、異常放電による電力ロスを無くし大気圧下でも常に安定したグロー放電プラズマを発生させて所定の表面処理を確実、かつ効率よく行なえるようにする。【解決手段】 中実帯板状に形成された高圧電極1とそれの厚み方向の両側に絶縁体2,2を挟んで対向配置された接地電極3,3とを備え、高圧電極1の中実内部には反応ガス供給通路6が孔明け加工により形成されているとともに、高圧電極1の幅方向一端側の表裏両面に、複数個のスリット状ガス吹出し穴10a,10bが長手方向に沿って断片的に、かつ、表裏互い違いに配置して形成されており、これら複数個のスリット状ガス吹出し穴10a,10bから構成されるガス流吹出し部10から被処理物の表面に対して略直線状にガス流を噴出可能に構成している。

Claim (excerpt)：

高圧電極と接地電極との間に形成される放電部に少なくともヘリウムまたは水素を含む不活性ガスと酸素または含フッ素化合物(フルオロカーボン系)ガスを含む反応性気体との混合反応ガスを大気圧もしくは大気圧近傍圧力下で導入し通過させるとともに上記両電極に高周波電圧を印加することにより、上記放電部にグロー放電プラズマを発生させて該プラズマにより生成される化学的に活性な励起種を含むガス流を上記放電部の下流側に設けた吹出し部から被処理物の表面に噴出するように構成されているプラズマ処理装置であって、上記高圧電極が中実帯板状に形成されているとともに、この帯板状高圧電極の厚み方向の両側にそれぞれ絶縁体を挟んで上記接地電極が対向配置され、上記帯板状高圧電極の中実内部にはその長手方向に沿わせて上記反応ガスの供給通路が形成されているとともに、該帯板状高圧電極の幅方向一端側の表裏両面にはそれぞれ、上記反応ガス供給通路に連通接続する複数個のスリット状ガス吹出し穴が上記長手方向に沿って断片的に、かつ、表裏互い違いに配置して形成されており、これら表裏複数個のスリット状ガス吹出し穴により構成される上記吹出し部から上記励起種を含むガス流を被処理物表面に対して略直線状に噴出可能に構成していることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (2)：

C08J 7/00 306 ,  H05H 1/24

FI (2)：

C08J 7/00 306 ,  H05H 1/24