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J-GLOBAL ID：200903042199947214
インクジェット式記録ヘッド
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木村 勝彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993301150
Publication number (International publication number)：1995125198
Application date： Nov. 05, 1993
Publication date： May. 16, 1995
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 インクの流れがスムースな、インクジェット式記録ヘッド。【構成】 結晶方位のシリコン単結晶基板を異方性エッチングする際に、圧力発生室とリザーバとを形成する通孔5、6を、それぞれの一方の壁面5a、6aを同一面として形成する。また圧力発生室を形成する通孔5,6を区画するノズル開口2近傍の壁面を相互に鈍角で接する壁面5a、5b、5f、5g、5hで形成する。この結果、インク流に対して隘路となるインク供給口7と圧力発生室が平滑な流路として構成され、またインクが停滞しやすいノズル開口2近傍の壁面がノズル開口2に対して可及的に等距離となる。
Claim (excerpt)：
ノズル開口が列状に穿設されたノズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバを形成する通孔を備えたスペーサと、圧電振動子の振動を受ける振動板、及び印字データに一致して伸縮する圧電振動子を備え、前記スペーサは、結晶方位(110)のシリコン単結晶異方性エッチングにより形成され、前記圧力発生室を形成する通孔のノズル開口近傍の端部が互いに鈍角で接する5つの壁面で形成されているインクジェット式記録ヘッド。
IPC (2)：
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