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J-GLOBAL ID：200903042213607162
ガスセンサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
塩入 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992183180
Publication number (International publication number)：1994003310
Application date： Jun. 16, 1992
Publication date： Jan. 11, 1994
Summary：
【要約】【目的】 経時安定性の高い、SnO2系薄膜ガスセンサを提供する。【構成】 SnO2薄膜に、W酸化物,Mo酸化物,V酸化物のいずれかを、添加物の金属元素とSnとの原子比で0.1〜40%添加する。
Claim (excerpt)：
SnO2薄膜の抵抗値を用いたガスセンサにおいて、前記のSnO2薄膜には、W,Mo,Vからなる群の少なくとも一員の元素の酸化物を、Sn原子に対する原子比で0.1〜40%添加したことを特徴とするガスセンサ。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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