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J-GLOBAL ID：200903042230476810

基板搬送車、マイクロデバイスの製造方法、及び基板保持装置

Inventor： 入江 信行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 前田 均 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998092362
Publication number (International publication number)：1999274264
Application date： Mar. 20, 1998
Publication date： Oct. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】 マイクロデバイス製造システムにおいて、ID番号等の識別マークの読取効率を向上し、スループットを改善するとともに、低コスト化を図ることである。【解決手段】 各基板取扱装置11〜15間でウエハWを自動搬送する搬送車であり、複数のウエハWを収納するカセット22が載置される載置台21と、カセット22に収納されたウエハWの識別パターン(ID番号)を検出するセンサ27と、複数のウエハWの各識別パターンをセンサ27で検出するために、ウエハWとセンサ27とを相対移動する駆動装置とを備えて構成される。各基板取扱装置11〜15間でウエアWを搬送中に識別パターンを読み取ることができる。

Claim (excerpt)：

マイクロデバイスの製造に使用される基板を搬送する基板搬送車において、複数の基板を収納するカセットが載置される載置台と、前記カセットに収納された基板の識別パターンを検出するセンサと、前記複数の基板の各識別パターンを前記センサで検出するために、前記基板と前記センサとを相対移動する駆動装置とを備えたことを特徴とする基板搬送車。