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J-GLOBAL ID：200903042241743020

プラズマエッチング用電極板

Inventor： 野畑 光晴
Applicant, Patent owner： 東海カーボン株式会社
Agent (1)： 福田 保夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996052464
Publication number (International publication number)：1997221310
Application date： Feb. 15, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】 エッチング消耗が少なく、製品歩留りに優れるガラス状炭素材からなるプラズマエッチング用電極板を提供する。【解決手段】 波長5145オングストロームのアルゴンイオンレーザー光を用いたラマンスペクトル分析において1360±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IA)と1580±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IB)の相対強度比R(IA/IB) と、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 (単位;オングストローム)とが、下記(1) 式の関係を満たすガラス状炭素材からなるプラズマエッチング用電極板。R≧(d002 -3.344)/0.135 ...(1)

Claim (excerpt)：

波長5145オングストロームのアルゴンイオンレーザー光を用いたラマンスペクトル分析において1360±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IA)と1580±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IB)の相対強度比R(IA/IB) と、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002(単位;オングストローム)とが、下記(1) 式の関係を満たすガラス状炭素材からなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。R≧ (d002 -3.344)/0.135 ...(1)

IPC (3)：

C01B 31/02 101 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

C01B 31/02 101 Z ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 B