多層型アクチュエータを製造するための方法および装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢野敏雄 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001573562
Publication number (International publication number)：2003529942
Application date： Mar. 20, 2001
Publication date： Oct. 07, 2003
Summary：

【要約】シート(1)、つまり「グリーンシート」を、該グリーンシート(1)上に被着された、電極を形成するための金属被覆体から成る範囲と共に、焼結ステップの前に加工して、プレスされた多層型複合エレメントを形成して、多層型アクチュエータを製造するための方法が提案される。本発明によれば、金属被覆体を有するグリーンシート(1)から、それぞれ1つの完成されたアクチュエータの横断面を規定する面を有するシートエレメント(4)を個々に分離し、そして該シートエレメント(4)を、多層型複合エレメントの製造を準備するために積み重ねて1つのシートスタックを形成する。さらに、この方法を実施するための、分離手段(31,32,33,35)を有する装置において、分離手段が、グリーンシート(1)から、それぞれ1つの完成されたアクチュエータの横断面を規定する面を有するシートエレメント(4)を個別に分離し、分離されたシートエレメント(4)を、分離過程に直接続いて積み重ねるために設計されていることが提案される。

Claim (excerpt)：

圧電材料粒子および/または電歪材料粒子が埋め込まれているフレキシブルなバインダを有するシート、つまり「グリーンシート(1)」を、該グリーンシート(1)上に被着された、電極(2,3)を形成するための金属被覆体から成る範囲と共に、焼結ステップの前に加工して、プレスされた多層型複合エレメント(8)を形成して、多層型アクチュエータを製造するための方法において、金属被覆体を有するグリーンシート(1)から、それぞれ1つの完成されたアクチュエータの横断面を規定する面を有するシートエレメント(4)を個々に分離し、そして該シートエレメント(4)を、多層型複合エレメント(8)の製造を準備するために積み重ねて1つのシートスタックを形成することを特徴とする、多層型アクチュエータを製造するための方法。

IPC (4)：

H01L 41/22 , B28B 11/00 , B28B 11/14 , H01L 41/083

FI (4)：

B28B 11/14 , H01L 41/22 Z , H01L 41/08 S , B28B 11/00 Z

F-Term (5)：

4G055AA08 , 4G055AC01 , 4G055AC09 , 4G055BA43 , 4G055BA83

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

特開平1-111386
特開昭62-177986
特開平4-148576

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