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J-GLOBAL ID：200903042312957817

薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法

Inventor： 那須 昌吾 ,  仲神 竜一 ,  末永 辰敏 ,  吉次 慶喜
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000109336
Publication number (International publication number)：2001297410
Application date： Apr. 11, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 薄膜磁気ヘッドのABS面に高硬度で耐摩耗性に優れ、基板との密着性が高く、膜厚を薄くすることが可能なDLC保護膜の成膜方法を提供する。【解決手段】 Al2O3とTiCからなる基板でABS面を構成し、ABS面を炭素を含むプラズマでスパッタし、その後DLC膜を成膜することにより、ABS面およびDLC膜中の炭素原子間に強固な結合力を得る。第2の手段は前記ABS面を窒素プラズマでスパッタし、その後窒化炭素膜を保護膜として成膜することにより、ABS面および窒化炭素膜中の窒素原子間に強固な結合力を得る。第3の手段は前記ABS面にFe,Ni,Co元素の一つを含むSiの中間層を形成し、その後DLC膜を成膜することによりDLC膜の硬度が上がり耐摩耗性が改善される。第4の手段はDLCスパッタ時に基板に対し矩形波の高周波電圧を印可することにより、密着力が強く耐摩耗特性に優れた保護膜を得る。

Claim (excerpt)：

アルミナと炭化チタンを主成分とする基板上に、磁気抵抗効果素子層とこの磁気抵抗効果素子層に検出電流を与える主電極層とで構成される読み出しヘッドと、前記読み出しヘッドの上部に絶縁層を介して形成される下部コア層と、前記下部コア層と磁気ギャップを介して形成される上部コア層と、両コア層に磁界を与えるコイル層とで構成される記録ヘッドを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、記録媒体との対向面(ABS面)を構成する前記基板表面にアルミナの炭化層を形成し、その表面にダイヤモンド状カーボン保護層(DLC保護層)を形成してなる薄膜磁気ヘッド。

IPC (2)：

G11B 5/31 ,  G11B 5/39

FI (4)：

G11B 5/31 D ,  G11B 5/31 G ,  G11B 5/31 K ,  G11B 5/39

F-Term (10)：

5D033BA15 ,  5D033BA52 ,  5D033BB43 ,  5D033CA03 ,  5D033DA03 ,  5D034BA02 ,  5D034BA19 ,  5D034BB12 ,  5D034CA01 ,  5D034DA07