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J-GLOBAL ID：200903042317590539
外観検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
河原 純一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995078099
Publication number (International publication number)：1996247958
Application date： Mar. 09, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：
【要約】【目的】 製品の品質の安定化および作業者の健康問題の解決を図り、従来の外観検査装置による外観検査よりも高速および安価な外観検査を実現する。【構成】 制御用コントローラ3は、光強度データの測定時に、検査エリアの大きさに適合するように、XYステージ2の単位駆動量の設定の制御と自動可変ブラインド5のブラインド幅の絞りの制御とを行い、光強度検出センサ4により測定された光強度データと予め求められているしきい値とに基づいて被検査チップの良/不良を判定する。統計処理用コンピュータ7は、しきい値検出用ウェハ(しきい値検出用のウェハ1)内の各チップにおける同一位置の複数の検査エリアに関する光強度データに対する統計的手法による処理に基づき、制御用コントローラ3による被検査チップの良/不良の判定で使用されるしきい値を設定する。
Claim (excerpt)：
ウェハが設置され、検査エリアの大きさに基づく単位駆動量毎に駆動するXYステージと、前記XYステージ上のウェハ内の各チップにおける各検査エリアに対して斜め上方向から光を照射するスポットライトと、前記XYステージの上方に配置され、前記スポットライトにより照射された光に対する各検査エリアでの散乱光の強度を検出し光強度データを測定する光強度検出センサと、前記XYステージ上のウェハ内の各チップにおける各検査エリアの大きさに基づいて前記光強度検出センサの受光範囲を設定するようにブラインド幅を絞る自動可変ブラインドと、光強度データの測定時に、検査エリアの大きさに適合するように、前記XYステージの単位駆動量の設定の制御と前記自動可変ブラインドのブラインド幅の絞りの制御とを行い、前記光強度検出センサにより測定された光強度データと予め求められているしきい値とに基づいて被検査チップの良/不良を判定する制御用コントローラと、しきい値検出用ウェハ内の各チップにおける同一位置の複数の検査エリアに関する光強度データに対する統計的手法による処理に基づき、前記制御用コントローラによる被検査チップの良/不良の判定で使用されるしきい値を設定する統計処理用コンピュータとを有することを特徴とする外観検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
