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J-GLOBAL ID：200903042320840473

走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡及びそれらを 用いた加工装置

Inventor： 渡邊 信男 ,  高松 修 ,  岡村 好真 ,  柳沢 芳浩 ,  島田 康弘
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993046110
Publication number (International publication number)：1994241780
Application date： Feb. 12, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 測定のダイナミックレンジが広く、且つ制御性を向上した静電駆動型走査型トンネル顕微鏡を提供する。【構成】 静電駆動用電極102、108が梁104のZ軸方向に絶縁スペ-サ-103、107を介して、梁104を挟むようにして設けられている構成を有する走査型トンネル顕微鏡。

Claim (excerpt)：

導電性の梁状構造物に設けられた探針を試料表面に接近させて走査する走査型トンネル顕微鏡において、静電駆動用電極が、走査面に垂直な方向で梁状構造物を挟むように、梁状構造物の両側に少なくともそれぞれ1つ以上設けられていることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/28