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J-GLOBAL ID：200903042323653860
ガスレーザ装置用放電電極構体
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中沢 謹之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992265268
Publication number (International publication number)：1994069566
Application date： Aug. 21, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：
【要約】【目的】 レーザガスを励起する放電を発生する一対の放電電極間において、電界集中によるアーク放電の発生を防止することを目的とする。【構成】 放電電極の弧状とされている周縁に、レーザガスよりも誘電率の大きい絶縁体を設置する。この絶縁体の設置により放電電極の周縁における電位は均等になり、電界の集中は緩和される。したがって電界集中によるアーク放電の発生が防止される。
Claim (excerpt)：
一対の対向する放電電極からなり、前記両放電電極間でレーザガスを励起する放電を発生させるガスレーザ装置用放電電極構体において、前記放電電極の弧状とされている周縁に、前記レーザガスよりも誘電率の大きい絶縁体を設置し、前記絶縁体の周縁を弧状としてなるガスレーザ装置用放電電極構体。
IPC (2)：
FI (2)：
H01S 3/03 B
, H01S 3/03 F
