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J-GLOBAL ID：200903042328821583

ダイシング装置

Inventor： 足立 禎
Applicant, Patent owner： セイコー精機株式会社
Agent (1)： 川井 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996028576
Publication number (International publication number)：1997199448
Application date： Jan. 23, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ウエハが大型化しても装置の小型化を可能にするとともに、ウエハの加工品質の低下の防止を図る。【解決手段】 ウエハ1は、回転自在なウエハ支持台11上に支持される。ウエハ支持台11は、支持台移動機構13によりX軸方向に移動自在である。ウエハ1を切断する切断刃14は、切断刃移動機構15によりY軸方向とZ軸方向にそれぞれ移動自在である。ウエハ支持台11のX軸方向の最大ストロークは、ウエハ1の口径Dと同一になるようにし、切断刃14のY軸方向の最大ストローク(移動距離)Syは、D/2≦Sy<Dになるようにする。そして、ウエハ1のX方向およびY方向の切断刃14による各切断は、例えば半分ずつというように2回で行う。

Claim (excerpt)：

ウエハを切断させる切断刃と、前記ウエハを回転させる回転手段と、前記ウエハをX軸方向に移動させるウエハ移動手段と、前記切断刃をY軸方向およびZ軸方向に移動させる切断刃移動手段とを備えたダイシング装置であって、加工するウエハの口径をDとし、前記切断刃移動手段による前記切断刃のY軸方向の最大ストロークSyは、D/2≦Sy<Dを満たすようにし、前記ウエハのX方向およびY方向の切断は、前記切断刃により所定量切断したのち、前記ウエハを前記回転手段により180度回転した状態で残りを切断するようにしたことを特徴とするダイシング装置。