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J-GLOBAL ID:200903042353805665

表面官能基検出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 古谷 馨 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996291504
Publication number (International publication number):1998132802
Application date: Nov. 01, 1996
Publication date: May. 22, 1998
Summary:
【要約】【課題】各種の材料表面に存在する官能基を高選択的に検出可能な測定方法の提供。【解決手段】材料表面に存在しない元素を含む化合物を材料表面の官能基と常温で気相において選択的に反応させ、反応後の材料表面を元素分析する。元素はハロゲン、特にフッ素又は塩素が好ましく、化合物としてはこれらの元素をC1〜C4までのアルキル鎖に含むものが好ましい。分析手段はESCA、AES、XMA、SIMSなどから所要に応じて適宜選択され、反応と組み合わせられる。
Claim (excerpt):
材料表面に存在する官能基の検出方法であって、前記材料表面に存在しない元素を含む化合物を前記官能基と気相において選択的に反応させ、反応後の材料表面を元素分析することを特徴とする検出方法。
IPC (3):
G01N 31/00 ,  G01N 27/62 ,  G01N 23/225
FI (4):
G01N 31/00 Z ,  G01N 31/00 Q ,  G01N 27/62 B ,  G01N 23/225

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