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J-GLOBAL ID：200903042354697505
放射線検出器の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000276940
Publication number (International publication number)：2002090465
Application date： Sep. 12, 2000
Publication date： Mar. 27, 2002
Summary：
【要約】【課題】 位置検出を正確に行うことができ、ショートのおそれが少ない放射線検出器を安定かつ安価に製造することのできる製造方法を提供する。【解決手段】 放射線検出器を製造する過程でアノードを円柱状のビアポストあるいは円錐状のバンプとして、表裏導通手段の製造工程と同時あるいは直後に形成しているので、低コストで安定に放射線検出器を製造することができる。特に、アノードと表裏導通手段をビアポストあるいはバンプで同時に形成する場合には工程を短縮でき、低コスト化および高信頼化に寄与することができる。
Claim (excerpt)：
内層となる第1の導電板の上に導電性のパンプを形成する工程と、絶縁板および表層となる第2の導電板を重ねてプレスを行う工程と、前記第1の導電板をパターニングして内層を形成する工程と、このパターニングされた第1の導電板を基材上に固着させる工程と、前記第2の導電板をアノード予定箇所に対応させて選択的に除去し、前記絶縁板に前記第1の導電板に達する開口を形成する工程と、前記第2の導電板をパターニングしてカソードとなる表層を形成する工程と、前記開口内に金属めっきによりアノードとなる導電ボストを形成する工程と、を備えた放射線検出器の製造方法。
F-Term (6)：
2G088EE29
, 2G088GG25
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ31
, 2G088JJ37
