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J-GLOBAL ID：200903042399519268
恒温槽の温度制御装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
土橋 博司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996348111
Publication number (International publication number)：1998189613
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】温度管理が均一かつ正確に行うことが容易にでき、バーンインテストやスクリーニング、エージング等の検査を精度よく行うことが可能で、コスト的にも実用上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供しようとするものである。【解決手段】恒温槽内においてワークを多段に設置するためのワーク保持手段と、恒温槽内においてワーク保持手段の上部もしくは側面から多段に設置したワークの各間隙にエアを送り込む送風手段と、送風手段から送り出されるエアの温度をセンサで検知してヒータ類で温度管理する温度調節手段と、ワークの各間隙部分の端部に設置され、送風手段から遠ざかるにしたがって順次エアの流れに大きく張り出すようにしたエア導入手段とを備えたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
恒温槽内においてワークを多段に設置するためのワーク保持手段と、恒温槽内においてワーク保持手段の上部もしくは側面から多段に設置したワークの各間隙にエアを送り込む送風手段と、送風手段から送り出されるエアの温度をセンサで検知してヒータ類で温度管理する温度調節手段と、ワークの各間隙部分の端部に設置され、送風手段から遠ざかるにしたがって順次エアの流れに大きく張り出すようにしたエア導入手段とを備えたことを特徴とする恒温槽の温度制御装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/326
, G01R 31/26 H
