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J-GLOBAL ID：200903042406354377

フォトサーマルセンサ

Inventor： シュルツ,トルステン ,  ファウベル,ヴェルナー
Applicant, Patent owner： フオルシユングスツエントルム カールスルーエ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994507638
Publication number (International publication number)：1996507367
Application date： Jun. 11, 1993
Publication date： Aug. 06, 1996
Summary：

【要約】本発明は、励起光源(4)により試料(11)の中に熱レンズの形成される形式のフォトサーマルセンサに関する;屈折率の変化は検出レーザビーム(3)により検出器(5,6)を介して検出される。本発明により、検出レーザビームはレンズ(8)により形成される。このビームは試料(11)の個所におけるビーム半径が、励起光源(4)のビームの狭窄部の少なくとも5倍に拡開化される。

Claim (excerpt)：

試料(11)の中の成分の濃度を測定するためのフォトサーマルセンサであって、該センサは a)励起用光源(4)を備え、該光源は、試料(11)の中でならびに第1の光ビームのビーム路において吸収が行なわれるような波長の第1の光ビームを放出し、 b)変調器(17)を備え、さらに後続して c)結像光学装置(14)を備え、該結像光学装置は試料(11)の近傍において第1の光ビームの狭窄部を生ぜさせ、 d)検出レーザ(3)を備え、該検出レーザはコヒーレントな光の第2の光ビームを第1の光ビームに垂直な方向に放出し、 e)第2の光ビームの中にレンズ(8)を備え、 f)2つの面(1,2)を有するビームスプリッタ(9a)を備え、該ビームスプリッタは次のように配置されており、即ち 励起光源(4)から送出された第1の光ビームが変調器(17)と結像光学装置(14)を通った後に、および検出レーザ(3)から送出されたコヒーラントな光の第2の光ビームがレンズ(8)を通った後に、ビームスプリッタ(9a)の相異なる面へ入射するように配置されており、 ならびに励起用光源(4)から送出された第1の光ビームの成分も、検出レーザ(3)から送出されたコヒーラントな光の成分も、試料(11)へ入射するように、配置されており、 g)第1の光感検出器(5)を備え、該光感検出器はビームスプリッタ(9a)の後方のビーム路における第1の光ビームの別の成分を検出するように配置されており;さらに該フォトサーマルセンサは試料(11)へ入射して該試料(11)を透過する光のビーム路において試料(11)の後方に h)絞り(12)と、 i)フィルタ(9b)を備え、これらの部材の後方にビーム路に j)第2の光感検出器(6)が設けられている形式の、フォトサーマルセンサにおいて、 k)レンズ(8)が次のように選定されていることを、即ち検出レーザ(3)から送出されたコヒーラントな光の第2の光ビームは、試料(11)の個所におけるビーム半径が第1の光ビームの狭窄部の半径の少なくとも5倍に拡開化されるように、選定されていることを特徴とする、フォトサーマルセンサ。