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J-GLOBAL ID：200903042416071055

バンプ検査用データの教示方法

Inventor： 澤野井 幸哉 ,  藤井 良樹
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 鈴木 由充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993067602
Publication number (International publication number)：1994258047
Application date： Mar. 02, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】検査用データの教示に要する労力と時間とを大幅に節減する。【構成】各バンプの形成状態が良好な基準ウエハ1Sを用いてバンプの自動検査用のデータを教示する。まず、ウエハ1Sの左下端の第1のチップT1 を撮像し、その撮像画像より各バンプB11〜B14の位置座標,しきい値などの色パラメータ情報C1 〜C4 , バンプの良否判定のための検査基準の情報P1 〜P4 などを教示する。これら検査用データのうちバンプの位置座標を除くデータについては、他のチップTi についても同様であり、各データは共通データファイル25として制御処理部のメモリ13内に記憶される。他のチップTi の検査用データ教示時には、各バンプBi1〜Bi4の位置座標を教示した後、共通データファイル25のデータをそのままこのバンプ群の検査用データとして流用する。

Claim (excerpt)：

ウエハ上に形成された複数のバンプの各品質を自動検査するための検査用データをバンプ自動検査装置に教示する方法であって、特定のバンプの一群について前記バンプ自動検査装置に教示された検査用データの集合を、他のバンプの一群に含まれる各バンプの検査用データに流用してバンプ自動検査装置に教示することを特徴とするバンプ検査用データの教示方法。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 教示データ作成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-214358   Applicant：オムロン株式会社