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J-GLOBAL ID：200903042426126869

位置制御装置

Inventor： 佐久田 茂
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992110025
Publication number (International publication number)：1993303426
Application date： Apr. 28, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、粗動微動間の干渉を軽減して正確な位置制御を行う。【構成】微動素子(16)による微小変位と、この微動素子(16)の変位量が所定量に達したときの粗動機構(11)による微動素子(16)の変位量分だけの移動とを交互に連動させるときに、微動素子(16)がその変位速度及び加速度に応じた縮小量及び縮小時間で変位駆動される。

Claim (excerpt)：

微動素子による微小変位と、この微動素子の変位量が所定量に達したときの粗動機構による前記微動素子の前記変位量分だけの移動とを交互に連動させ、前記微動素子の位置制御を行う位置制御装置において、前記微動素子の微小変位から前記粗動機構による移動に移るときに、前記微動素子の変位速度及び加速度に応じた縮小量及び縮小時間で前記微動素子を変位駆動する粗微動間の干渉制動手段を備えたことを特徴とする位置制御装置。

IPC (3)：

G05D 3/12 305 ,  G05D 3/00 ,  G12B 5/00