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J-GLOBAL ID：200903042482155006

脱離ガス検出装置の試料ステージ構造

Inventor： 日永康
Applicant, Patent owner： 電子科学株式会社
Agent (1)： 井出 直孝 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991320599
Publication number (International publication number)：1993203625
Application date： Dec. 04, 1991
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 真空チャンバ内に設置し、その上に試料を載置して赤外線を照射する脱離ガス検出装置の構造を改良する。【構成】 赤外線を導入するガラス棒を真空チャンバ内に垂設し、その上端にキャップ形状の試料ステージを被せ、その試料ステージの上面に試料を載置する構造とする。【効果】 赤外線が試料に集中的に照射され、試料ステージおよび試料のみが有効に加熱され、真空チャンバ内の他の部分は加熱されることなく、環境からの余分なガスの発生を防ぎ、背景ノイズによる影響を防止する。

Claim (excerpt)：

真空チャンバ内に設置され、試料を載置し、その試料に赤外線を照射する手段を設けた脱離ガス検出装置の試料ステージ構造において、前記真空チャンバ内に前記赤外線を導入するガラス棒が垂設され、上面が前記試料を載置するに適する形状に、下面が前記ガラス棒の上端に緩く嵌合する形状にそれぞれ加工されたキャップ形状の試料ステージがそのガラス棒の上端に被せられたことを特徴とする脱離ガス検出装置の試料ステージ構造。