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J-GLOBAL ID：200903042493944380

ダイシング用粘着フィルム

Inventor： 山本 修 ,  塩貝 進
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998322002
Publication number (International publication number)：2000150425
Application date： Nov. 12, 1998
Publication date： May. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】薄型ウエハをダイシングする際に、チップ飛びやチッピングが生じないダイシング用粘着フィルムを提供すること。【解決手段】片面に粘着層(A)を設けた、厚さが10乃至100μmで引張弾性率が0.5〜20kgf/mm2 である軟質樹脂からなる層(B)と、片面に粘着層(C)を設けた、厚さが10乃至250μmで引張弾性率が30乃至400kgf/mm2 の樹脂からなる層(D)とを、A/B/C/Dの順になるように貼り合わせてなるダイシング用粘着フィルムをもちいる。

Claim (excerpt)：

片面に粘着層(A)を設けた、厚さが10乃至100μmで引張弾性率が0.5〜20kgf/mm2 である軟質樹脂からなる層(B)と、片面に粘着層(C)を設けた、厚さが10乃至250μmで引張弾性率が30乃至400kgf/mm2 の樹脂からなる層(D)とを、A/B/C/Dの順になるように貼り合わせてなるダイシング用粘着フィルム。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特許第2665383号
  
• ダイシング用ウエハ保持フィルム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-229172   Applicant：日立化成工業株式会社