Pat

J-GLOBAL ID：200903042494133202

エッチング終点検出方法および装置

Inventor： 山中 滋夫 ,  鈴木 宏之
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 森本 義弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999212958
Publication number (International publication number)：2001044171
Application date： Jul. 28, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 エッチングサイクルとデポサイクルとを繰り返すサイクルエッチングの際に、デポサイクルにおける発光強度の変化に左右されることなく正確にエッチング終点を検出できるようにする。【解決手段】 各エッチングサイクルにおけるエッチング反応に基く信号変化だけを取り出すとともに、取出した信号変化に相応する波形の不連続個所を第1補正波形、次いで第2補正波形CW2によって連続させる補正を行い、補正後の連続波形よりエッチング終点EDを検出する。

Claim (excerpt)：

エッチングサイクルとデポサイクルとを繰り返すサイクルエッチングにおいてエッチング終点を検出するに際し、各エッチングサイクルにおけるエッチング反応に基く信号変化だけを取り出すとともに、取り出した信号変化に対応する波形の不連続個所を補正波形によって連続させる補正を行い、補正後の連続波形よりエッチング終点を検出することを特徴とするエッチング終点検出方法。

F-Term (7)：

5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB11 ,  5F004BB18 ,  5F004BC08 ,  5F004CB02 ,  5F004CB16