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J-GLOBAL ID：200903042513276966

磁性薄膜及びその製造方法

Inventor： 古川 伸治 ,  大沼 繁弘 ,  松本 文夫 ,  藤森 啓安 ,  増本 健
Applicant, Patent owner： 株式会社アモルファス・電子デバイス研究所
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993224438
Publication number (International publication number)：1995086038
Application date： Sep. 09, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、良好な一軸磁気異方性を有し、電気抵抗が大きく、飽和磁歪定数が小さく、高周波特性の優れた磁性薄膜及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】本発明は、2種類以上の結晶相からなる組織を有するCo基合金薄膜において、Pdを含むことを特徴とする磁性薄膜である。

Claim (excerpt)：

2種類以上の結晶相からなる組織を有するCo基合金薄膜において、Pdを含むことを特徴とする磁性薄膜。

IPC (6)：

H01F 10/16 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/147 ,  H01F 41/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭61-008904
  
• 特開平3-060105
  
• 特開平1-223611
  
• 特開昭61-246914