ステージ位置制御系のPID調整方法およびステージ速度制御系のPI調整方法ならびにステージ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998231128
Publication number (International publication number)：2000056837
Application date： Aug. 04, 1998
Publication date： Feb. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】技能に依存することなく、PIDまたはPIパラメータを良好に調整できるようにする。【解決手段】除振装置に搭載されたステージ位置制御系またはステージ速度制御系において、ステージの質量m1、粘性摩擦係数b1、ばね定数k1、ステージを駆動する電力増幅器の1次遅れ時定数Td、位置ゲインKp、電力増幅器のゲインKi、推力定数Kt、設計者が指定する速応性を規定する数値σ、望ましい応答としての参照モデルの係数α0、α1、α2、α3、さらには除振台の質量m2、粘性摩擦係数b2およびばね定数k2等を用い、所定の式によってPIDまたはPIパラメータを算出して定める。

Claim (excerpt)：

床振動の伝播を絶縁する除振装置と、前記除振装置に搭載された位置決めステージと、前記ステージを位置決め制御する位置制御手段とを備え、前記位置制御手段の補償器が、FxをP動作ゲイン、FiをI動作ゲイン、FvをD動作ゲインとすればFx+Fi/s+Fvの形のPID補償器であるステージ位置制御系において、前記ステージの質量、粘性摩擦係数、ばね定数、そして前記ステージを駆動する電力増幅器の1次遅れ時定数をそれぞれm1、b1、k1、Tdとし、さらにKpを位置ゲイン、Kiを前記電力増幅器のゲイン、Ktを推力定数、σを設計者が指定する速応性を規定する数値、α0、α1、α2、α3を望ましい応答としての参照モデルの係数とすれば、Fi 、Fx 、Fvを【数1】で定めることを特徴とするステージ位置制御系のPID調整方法。

IPC (8)：

G05D 19/02 , B23Q 15/22 , G05B 13/04 , G05D 3/00 , G05D 3/12 305 , G05D 3/12 , G05D 3/12 306 , G12B 5/00

FI (8)：

G05D 19/02 D , B23Q 15/22 , G05B 13/04 , G05D 3/00 A , G05D 3/12 305 V , G05D 3/12 305 L , G05D 3/12 306 Z , G12B 5/00 T

F-Term (62)：

2F078CA08 , 2F078CB02 , 2F078CB03 , 2F078CC01 , 2F078CC15 , 3C001KA01 , 3C001TA01 , 3C001TA05 , 3C001TB01 , 3C001TB05 , 3C001TC05 , 5H004GA03 , 5H004GA05 , 5H004GA07 , 5H004GA09 , 5H004GB20 , 5H004HA07 , 5H004HA08 , 5H004HB07 , 5H004HB08 , 5H004HB09 , 5H004JA03 , 5H004JA04 , 5H004JA22 , 5H004JB08 , 5H004JB15 , 5H004KA54 , 5H004KA69 , 5H004KA78 , 5H004KB02 , 5H004KB04 , 5H004KB06 , 5H004KB16 , 5H004KB22 , 5H004KB39 , 5H004KC33 , 5H004KC34 , 5H004LA02 , 5H004LA06 , 5H004LA13 , 5H004LA20 , 5H004MA12 , 5H303AA20 , 5H303BB02 , 5H303BB07 , 5H303BB12 , 5H303CC02 , 5H303CC05 , 5H303EE07 , 5H303FF03 , 5H303JJ01 , 5H303JJ04 , 5H303KK01 , 5H303KK02 , 5H303KK03 , 5H303KK04 , 5H303KK11 , 5H303KK14 , 5H303KK17 , 5H303KK20 , 5H303KK35 , 5H303MM05

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