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J-GLOBAL ID：200903042547662504
液体噴射記録ヘッドの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992150667
Publication number (International publication number)：1993338184
Application date： Jun. 10, 1992
Publication date： Dec. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】 液体噴射記録ヘッドの製造方法において、薄い保護層をもって電極層の充分なステップカバレージを可能とする。【構成】 電極層上のフォトレジスト層を幅方向にエッチングをしながら電極層をもエッチングしてテーパーがついた端部をもった電極を得るに当り、フォトレジストのエッチング速度分布を記録ヘッド基板内で±25%以内とするか、または電極層のエッチング速度分布を記録ヘッド基板内で±10%以内とする。または、液体噴射記録ヘッドの製造において、電極層を膜厚方向の下部におけるよりも大きな上部エッチング速度をもって湿式エッチングを行ってテーパー形状の緩やかな電極を得る。
Claim (excerpt)：
液体吐出用のオリフィスに連通して前記液体中に熱エネルギーを与えてこの液体中に気泡を形成させる熱作用部と、前記熱エネルギーを発生する電気熱変換体と一対の電極と上部保護層とを有する液体噴射記録ヘッドを、電極層上のフォトレジストを幅方向にエッチングをしながら電極層をもエッチングしてテーパーがついた端部をもった電極を得ることにより製造するに当り、フォトレジスト層のエッチング速度分布を前記記録ヘッドの基板内で±25%以内としてエッチングを行うことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
