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J-GLOBAL ID：200903042580465730

成分分析方法およびその方法を用いた成分分析装置

Inventor： 宇佐見 護
Applicant, Patent owner： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004091224
Publication number (International publication number)：2005274496
Application date： Mar. 26, 2004
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：

【課題】 試料の成分分析におけるデータ解析の精度を上げることにより、正確な成分数や成分量を得ること。【解決手段】 成分分析方法は、単一の成分または複数の成分から構成される試料に光を照射し、試料からの検出光の検出データに基づいて複素屈折率<n>を算出し、複素屈折率<n>の虚部kから吸収係数α、吸光度Aを算出し、吸光度Aを観測スペクトルxまたは[X]としてデータ解析を行うものである。観測スペクトルxまたは[X]の数Nが測定されたデータ数であり、データ数Nと試料中の成分数Mの大小を比較して、それぞれの場合に適した演算をする。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

単一の成分または複数の成分から構成される試料に光を照射し、 前記試料を透過した透過光または前記試料から反射した反射光を検出し、 前記透過光または反射光の検出データに基づいて複素屈折率を算出し、 前記複素屈折率から前記試料の成分量と線形関係を有する因子に関する観測スペクトルを算出し、 前記観測スペクトルを用いて所定の演算を施すことにより前記試料の成分数および/または成分量を得ることを特徴とする成分分析方法。

IPC (1)：

G01N21/35

FI (1)：

G01N21/35 Z

F-Term (20)：

2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM02 ,  2G059PP04