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J-GLOBAL ID：200903042594109058
回折格子パターンおよびその作製方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994234945
Publication number (International publication number)：1996094816
Application date： Sep. 29, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】サンドブラスト法における厚膜パターン形成方法において、削り落とされたパターン形成材料の回収再利用を容易にする厚膜パターン形成方法をを提供する。【構成】サンドブラスト法の研磨材をドライアイスとしたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
回折格子からなる複数の微小なドットが、基材表面に所望に配置されてなる回折格子パターンにおいて、所望パターンにおけるドット配置が重複する場合、重複部分の一方のドット形状を本来の形状とし、他方のドット形状が重複部分を欠いた形状に実パターンをする事を特徴とする回折格子パターン。
IPC (2)：
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