Pat
J-GLOBAL ID：200903042600175505
微動機構
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993274078
Publication number (International publication number)：1995129244
Application date： Nov. 02, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：
【要約】【目的】 相互干渉のない薄型で小型化に適している微動機構を提供する。【構成】 微動機構1は、2つの固定部12a,12bと2つの弾性変形部13a,13bとからなる枠部と、該枠部の中央に位置する可動部10と、この可動部10を案内するための4つの板ばね11a,11b,11c,11dと、可動部10を駆動するためのの2つの駆動用伸縮素子14a,14bとから構成されている。すなわち、微動機構1の基本構成は、可動部10が4本の同形の板ばね11a,11b,11c,11dにより、固定部12a,12bに対して、第1の方向(矢印X方向)に案内されて支持される、一体型平行ばね機構である。この一体型平行ばね機構は、シリコンの単結晶基板を結晶軸異方性エッチングすることにより形成したものであり、駆動用伸縮素子14a,14bとして、100Vの印加電圧で約3μmの伸び変化をする積層型圧電素子を使用した。
Claim (excerpt)：
第1の可動部を第1の方向に案内する第1の一体型平行ばねと、前記第1の可動部を前記第1の方向に駆動する第1の伸縮素子と、第2の可動部を第2の方向に案内する第2の一体型平行ばねと、前記第2の可動部を前記第2の方向に駆動する第2の伸縮素子とから構成され、前記第1の可動部と前記第2の可動部とが相対的に二次元を可動とするように、配置したことを特徴とする微動機構。
IPC (3)：
G05D 3/00
, H01L 41/09
, H02N 2/00
