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J-GLOBAL ID：200903042604651301

剥離検出方法およびその方法を適用した超音波顕微鏡

Inventor： 高田 元弘
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993293245
Publication number (International publication number)：1995146279
Application date： Nov. 24, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、反射型超音波顕微鏡で全面剥離を含め的確に試料の剥離観察をすることを目的とする。【構成】試料Sの内部にある剥離41を超音波を使って検出する方法である。この方法は、試料台24に載置した試料Sの底面を空気層26に接触せしめ、音響レンズ34で収束させた超音波を試料S上面から入射すると共に当該試料Sからの反射波を音響レンズ34で受波し、その受波した反射波を反射信号に変換し、前記反射信号に対して前記試料Sの底面に相当する信号成分を抽出し、前記試料Sと前記音響レンズ34とを水平面内において相対的に走査することにより得られる複数の前記信号成分から試料底面の反射像を描画する。

Claim (excerpt)：

試料の内部にある剥離を超音波を使って検出する剥離検出方法において、試料台に載置した試料の底面を空気層に接触せしめ、音響レンズで収束させた超音波を前記試料の上面から入射すると共に当該試料からの反射波を前記音響レンズで受波し、前記音響レンズで受波した反射波を電気的な反射信号に変換し、前記反射信号から前記試料の底面に相当する信号成分を抽出し、前記試料と前記音響レンズとを水平面内において相対的に走査することにより得られる複数の前記信号成分から試料底面の反射像を描画することを特徴とする剥離検出方法。