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J-GLOBAL ID：200903042630249546

石英ガラス表面処理液およびその使用方法

Inventor： 剣持 克彦 ,  遠藤 護
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994083578
Publication number (International publication number)：1995267679
Application date： Mar. 31, 1994
Publication date： Oct. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 石英ガラス表面に清浄な凹凸を強度劣化を惹起することなく形成する表面処理液を提供すること。【構成】 フッ酸とフッ化アンモニウムと酢酸を水に混合した石英ガラス表面処理液およびそれを使用した表面処理方法。

Claim (excerpt)：

フッ化水素とフッ化アンモニウムと酢酸を水に混合することを特徴とする石英ガラス表面処理液。