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J-GLOBAL ID：200903042632505990

紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品

Inventor： 山本 雅之 ,  寺田 好夫
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Agent (1)： 杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003185006
Publication number (International publication number)：2005019841
Application date： Jun. 27, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：

【課題】紫外線が予め照射されてワークの略外形部分の粘着材が硬化した粘着テープをワークに貼り付け、その硬化部分を切断することのできる紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置を提供する。【解決手段】所定箇所に紫外線を予め照射して粘着材を硬化させた粘着材硬化パターンPの形成された紫外線硬化型の粘着テープTが、ウエハWに向けて供給される。このとき、粘着テープTの幅方向でパターンPの中心に位置するマークMが光学センサにより検出され、この検出結果に基づいて粘着テープTの送りが制御されて位置合わせが行われる、位置合わせが決まると貼付けユニットによって粘着テープTがウエハWの表面に貼り付けられる。貼り付けられた粘着テープTは、そのパターンPの部分、つまり、ウエハWの外形に沿って切断される。【選択図】 図6

Claim (excerpt)：

紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、 紫外線硬化型の前記粘着テープの所定箇所に予め紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた後に、前記ワークへの粘着テープの貼り付け位置を合わせることを特徴とする紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法。

IPC (1)：

H01L21/304

FI (1)：

H01L21/304 622J