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J-GLOBAL ID：200903042663169742

導波路型光デバイスの気密封止構造

Inventor： 谷沢 靖久
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993338602
Publication number (International publication number)：1995198973
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：

【要約】【目的】 第1の基板中に光導波路が形成された導波路型光デバイスの気密封止に関し、小形で信頼度の高い気密構造を適用する。【構成】 第1の基板と同じ材料かほぼ等しい熱膨張係数の第2の基板に光導波路と線対称の溝を設け、第2の基板をかぶせて接合する。片方の基板の周囲と他方の基板の表面を半田、低融点ガラス、樹脂のいずれかで固着する。光導波路と結合する光ファイバは、第1の基板上に形成された溝に配置され、第2の基板に形成された溝で挟まれる。両溝と光ファイバの隙間は、半田、若しくは低融点ガラスによって充填される。【効果】 光導波路が形成された基板全体を気密用のきょう体に収容する必要がないので、小形、低価格化できる。しかも、基板の固定がないので固定用樹脂を使用しなくてよい。また、周囲温度の変化に対しても安定である。

Claim (excerpt)：

第1の基板中に光導波路が形成され、前記光導波路に光ファイバが光学的に結合した導波路型光デバイスにおいて、少なくとも前記光導波路が形成された光導波路パタンに相対する領域に第1の溝が形成された第2の基板が、前記第1の基板の光導波路パタンと前記溝のパタンを一致させるように接合されていることを特徴とする導波路型光デバイスの気密封止構造。