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J-GLOBAL ID：200903042682045272

三環式芳香族骨格を有するカルボン酸誘導体

Inventor： 永田 岳志 ,  渡辺 淳 ,  畠山 潤 ,  名倉 茂広 ,  石原 俊信
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996293342
Publication number (International publication number)：1998120628
Application date： Oct. 15, 1996
Publication date： May. 12, 1998
Summary：

【要約】【課題】 微細加工技術に適した高解像性を有し、特に高反射基板上で用いた場合でも定在波やハレーションの発現がない化学増幅ポジ型レジスト材料を与えることができ、化学増幅ポジ型レジスト材料の成分として好適な化合物を得る。【解決手段】 下記一般式(1)又は(2)で示される三環式芳香族骨格を有するカルボン酸誘導体。【化1】(R1、R2、R3はH、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルケニル基又はアリール基、R4はそれぞれOを含んでいてもよい2価の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基又は酸素原子、R5は酸不安定基、pは0又は1、k、h、mは0〜9、nは1〜10、k+h+m+n≦10を満足する。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)又は(2)で示される三環式芳香族骨格を有するカルボン酸誘導体。【化1】(式中、R1、R2、R3はそれぞれ独立に水素原子、直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、直鎖状もしくは分岐状のアルコキシ基、直鎖状もしくは分岐状のアルコキシアルキル基、直鎖状もしくは分岐状のアルケニル基又はアリール基である。R4は酸素原子を含んでいてもよい置換もしくは非置換の2価の脂肪族炭化水素基、酸素原子を含んでいてもよい置換もしくは非置換の2価の脂環式炭化水素基、酸素原子を含んでいてもよい置換もしくは非置換の2価の芳香族炭化水素基又は酸素原子であり、R5は酸不安定基である。pは0又は1である。k、h、mはそれぞれ0〜9の整数、nは1〜10の整数で、かつk+h+m+n≦10を満足する。)

IPC (7)：

C07C 69/76 ,  C07C 69/708 ,  C07C 69/94 ,  C07F 7/08 ,  C07F 7/18 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601

FI (7)：

C07C 69/76 A ,  C07C 69/708 Z ,  C07C 69/94 ,  C07F 7/08 K ,  C07F 7/18 K ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 新規ポリエステルとその製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-119526   Applicant：財団法人石油産業活性化センター, ゼネラル石油株式会社
• 特開平2-215809
  
• 特開昭51-076250
  
• 特許第3953498号