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J-GLOBAL ID：200903042685509792
表面位置検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992334836
Publication number (International publication number)：1994188173
Application date： Dec. 16, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 被検物が可視光に対して光透過性である場合にも、その被検物の表面の焦点位置を正確に検出する。【構成】 赤外光源12から射出された赤外線をフィールドレンズ2を介して投光スリット3に照射し、投光スリット3のスリット開口の像を送光側対物レンズ4Aを介してガラス基板5の表面5a上に結像する。表面5a上に結像されたスリット像を受光側対物レンズ4Bを介して受光スリット6上に再結像し、振動する受光スリット6のスリット開口を通過する光をコレクタレンズ7を介して受光素子8で受光する。外線はガラス基板5で吸収されて、内部の反射光が表面5a側に射出されるのが抑制される。
Claim (excerpt)：
被検物の表面上の所定の領域を所定の共役関係に形成するための主対物レンズと、光源と、該光源からの光を用いて前記主対物レンズの光軸外から前記被検物の表面上へ所定形状の検出パターン像を投影する送光対物レンズとを有する照射光学系と、該照射光学系から供給され前記被検物の表面上で反射される光束を集光して前記検出パターン像を再結像する受光対物レンズと、該再結像された検出パターン像の位置を検出する受光手段とを有する集光光学系とを設け、前記照射光学系及び前記集光光学系の光軸を前記主対物レンズの光軸に関して対称に配置し、前記照射光学系の前記光源として、前記被検物に吸収される波長域の光を発生する光源を用いることを特徴とする表面位置検出装置。
IPC (4)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 9/00
, H01L 21/68
