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J-GLOBAL ID：200903042711153063

アルカリネガ現像型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

Inventor： 小松 博
Applicant, Patent owner： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
Agent (1)： 高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000383565
Publication number (International publication number)：2002182378
Application date： Dec. 18, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明はアルカリ水溶液による現像特性に優れるアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び信頼性に優れる電子部品を提供する。【解決手段】(a)アルカリ水溶液に可溶である感光性ポリイミド前駆体(b)付加重合性化合物、(c)感光剤及び(d)アルカリ水溶液に可溶である溶解制御剤を含有してなるアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品。

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ水溶液に可溶である感光性ポリイミド前駆体(b)付加重合性化合物、(c)感光剤及び(d)アルカリ水溶液に可溶である溶解制御剤を含有してなるアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 501 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027 ,  C08F290/14

FI (5)：

G03F 7/004 501 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/027 514 ,  C08F290/14 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (86)：

2H025AA04 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025BC84 ,  2H025CA00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J027AD04 ,  4J027BA05 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA14 ,  4J027BA17 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA21 ,  4J027BA26 ,  4J027BA28 ,  4J027CA25 ,  4J027CB10 ,  4J027CD10 ,  4J043PA19 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA72 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA252 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UA362 ,  4J043UA391 ,  4J043UA421 ,  4J043UA581 ,  4J043UA651 ,  4J043UA761 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB351 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA091 ,  4J043VA102 ,  4J043YB07 ,  4J043YB19 ,  4J043ZB22