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J-GLOBAL ID：200903042730191022

2成分混合気体の濃度測定装置

Inventor： 黒河 明 ,  一村 信吾 ,  北條 久男 ,  小林 太吉
Applicant, Patent owner： バキュームプロダクツ株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
Agent (3)： 井上 一 ,  布施 行夫 ,  大渕 美千栄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004049769
Publication number (International publication number)：2005241355
Application date： Feb. 25, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：

【課題】 組成既知の混合気体の濃度測定素子として、一つの水晶振動子を用いた2成分混合気体の濃度測定装置を提供すること。【解決手段】 構成気体が既知で濃度が未知の2成分合気体の濃度測定装置は、混合気体と接触する濃度測定用水晶振動子(20)を有する。この水晶振動子(20)に接続された測定部(40)は、混合気体の濃度に応じて変化する水晶振動子(20)の共振抵抗値及び共振周波数を計測する。演算部(50)は、水晶振動子(20)の共振抵抗値及び共振周波数に基づいて、混合気体の濃度を演算する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

構成気体が既知で濃度が未知の2成分混合気体の濃度測定装置において、 前記混合気体と接触する濃度測定用水晶振動子と、 前記混合気体と接触した前記水晶振動子の共振抵抗値と共振周波数とを計測する計測部と、 計測された前記共振抵抗値と前記共振周波数とに基づいて、前記混合気体の濃度を算出する演算部と、 前記濃度測定用水晶振動子が特定温度範囲となるように、前記濃度測定用水晶振動子を温調する温調部と、 を有することを特徴とする2成分混合気体の濃度測定装置。

IPC (1)：

G01N5/02

FI (1)：

G01N5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特許第3336384号公報
  
• 米国特許第5,228,344号明細書(特公平7-97060)
  

Cited by examiner (2)

• 特許第3336384号
  
• 特開平2-228538