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J-GLOBAL ID:200903042736235498
レーザ加工装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中野 雅房
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993116525
Publication number (International publication number):1994297176
Application date: Apr. 19, 1993
Publication date: Oct. 25, 1994
Summary:
【要約】【目的】 投影倍率の調整が簡単にでき、しかも、常に一定の状態で加工状況を監視することができるマスク投影式のレーザ加工装置を提供する。【構成】 レーザ発振器2から発振されたレーザビームαの光軸L2上に、光軸L2に沿って移動可能なマスク移動装置4を配置し、レーザビームαを整形するためのマスク3を設ける。また、光軸L2上に、焦点距離を連続的に変化ならしめる可変焦点距離光学装置5を配置する。一方、対象物上の加工状況を観察する監視装置8の光軸L1上には、反射ミラー6を配置し可変焦点距離光学装置5を通過したレーザビームβの進行方向を直角に変更すると共に、対物レンズ7を固定して配置し、さらにレーザビームβを集光して対象物9上にマスク3の像を結像させる。レーザ加工装置1は、マスク3の位置と可変焦点距離光学装置5の焦点距離を調整することで、マスク3の像の投影倍率を変更することができる。
Claim (excerpt):
マスクにより整形されたレーザビームを照射することによって対象物を加工するレーザ加工装置において、前記マスクの像を倍率変換して前記対象物に結像するための投影倍率変更手段と、前記対象物の加工状況を観察するための監視手段とを備え、前記投影倍率変更手段は、前記監視手段の光路上に固定して配置した固定焦点距離光学系と前記監視手段の光路外に配置した可変焦点距離光学系とから構成したことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3):
B23K 26/04
, B23K 26/06
, G02B 27/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平2-241686
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特開平4-049680
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レーザ加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-235949
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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