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J-GLOBAL ID：200903042744033551

透明導電膜およびその製造方法

Inventor： 海上 暁 ,  大山 正嗣 ,  柴田 雅敏
Applicant, Patent owner： 出光興産株式会社
Agent (1)： 中村 静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993190480
Publication number (International publication number)：1994234521
Application date： Jul. 30, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ITO膜に比べてエッチング特性に優れるとともにITO膜と同等の導電性を有し、かつITO膜よりも耐湿性に優れている透明導電膜を提供する。【構成】 本発明の透明導電膜は、インジウムと亜鉛との非晶質酸化物からなり、InとZnの原子比がIn/(In+Zn)=0.55〜0.75であることを特徴とする膜、またはインジウムと亜鉛、およびSn,Al,Sb,GaおよびGeからなる群より選択される少なくとも1種の第3元素との非晶質酸化物からなり、InとZnの原子比がIn/(In+Zn)=0.55〜0.75で、InとZnと第3元素の合量に対する前記第3元素の割合が20at%以下であることを特徴とする膜である。

Claim (excerpt)：

インジウムと亜鉛との非晶質酸化物からなり、InとZnの原子比がIn/(In+Zn)=0.55〜0.75であることを特徴とする透明導電膜。

IPC (6)：

C01G 15/00 ,  C23C 14/08 ,  C23C 18/12 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 非晶質透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-095568   Applicant：旭硝子株式会社